當需要對晶圓樣品的電路圖案和顏色進行顯微觀察時,傳統的方法是對前者進行暗場照明、對后者進行明場照明,并在這兩種技術之間反復切換。因為在創建報告時需要為每種技術采集圖像,所以這種觀察方法非常耗時。
晶圓明場 晶圓暗場
奧林巴斯的解決方案用于執行半導體/FPD檢測的MX63/MX63L工業顯微鏡提供了一種可有效替代傳統觀察方法的解決方案:MIX 照明功能。利用MIX照明功能,可同時觀察晶圓的電路圖案和顏色信息。MIX圖像的銳度和清晰度可幫助提高工作效率和改進報告生成過程。
晶圓MIX
產品功能
來源:奧林巴斯網站