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所屬系列：ZJYQ-GYXWLSCM-OLYMPUS
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奧林巴斯激光共焦顯微鏡采用了較佳光學系統，可通過非破壞觀察法生成高畫質的圖像并進行JQ的3D測量。其準備操作也非常簡單且無需對樣本進行預先處理。
具有高精度和光學性能的LEXT?OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統更加易于使用的智能工具。其能夠快速完成亞微米級形貌和表面粗糙度的測量任務，既簡化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質量數據。
LEXT? OLS5100 3D激光掃描顯微鏡
用于材料分析的激光顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實驗設計
適用于故障分析和材料工程研究的奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100將測量精度和光學性能與智能工具相結合，讓顯微鏡更加方便使用。通過快速JQ測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。
LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準確的測量數據。與智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數據。
較高測量準確度*
奧林巴斯享譽世界的光學器件能夠以更低像差在整個視場中捕捉樣品的真實形貌
智能物鏡選擇助手（Smart Lens Advisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進行粗糙度測量
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100型號：
★OLS5100-SAF
100毫米電動載物臺
Z大樣品高度：100 mm (3.9 in.)
★OLS5100-EAF
100毫米電動載物臺
Z大樣品高度：210 mm (8.3 in.)
★OLS5100-SMF
100毫米電動載物臺
Z大樣品高度：40 mm (1.6 in.)
★OLS5100-LAF
300毫米電動載物臺
Z大樣品高度：37 mm （1.5 in.）
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100主機技術參數：
|
型號 |
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100-LAF |
OLS5100-EAF |
|
|
|
總倍率 |
54x–17,280x |
|
||||
|
視場 |
16 μm–5,120 μm |
|
||||
|
測量原理 |
光學系統 |
反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 |
|
|||
|
光接收元件 |
激光：光電倍增管（2通道） |
|
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|
高度測量 |
顯示分辨率 |
0.5 nm |
|
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|
動態范圍 |
16位 |
|
||||
|
重復性σn -1*1 *2 *5 |
5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm |
|
||||
|
準確度*1 *3 *5 |
0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]） |
|||||
|
拼接圖像準確度*1 *3 *5 |
10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm]) |
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|
測量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 |
1 nm（典型值） |
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|
寬度測量 |
顯示分辨率 |
1 nm |
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|
重復性3σn-1 *1 *2 *5 |
5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm |
|||||
|
準確度*1 *3 *5 |
測量值+/- 1.5% |
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|
拼接圖像準確度*1 *3 *5 |
10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長度[mm]） |
|||||
|
單次測量時Z大測量點數量 |
4096 × 4096像素 |
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|
Z大測量點數量 |
3600萬像素 |
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|
XY載物臺配置 |
長度測量模塊 |
? |
不適用 |
不適用 |
? |
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|
工作范圍 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動 |
300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動 |
||
|
Z大樣品高度 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
210 mm (8.3 in.) |
||
|
激光光源 |
波長 |
405 nm |
||||
|
Z大輸出 |
0.95 mW |
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|
激光等級 |
2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） |
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|
彩色光源 |
白光LED |
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|
電氣功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
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|
質量 |
顯微鏡主體 |
約 31 kg |
約 32 kg |
約 50 kg |
約 43 kg |
|
|
控制箱 |
約 12 kg |
|||||
*1 在ISO554(1976)、JIS
Z-8703(1983)規定的恒溫恒濕環境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值。
*5 基于奧林巴斯認證系統下的保證。
** Window 10的OS許可已通過奧林巴斯提供的顯微鏡控制器認證。
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100物鏡技術參數：
|
系列 |
型號 |
數值孔徑（NA） |
工作距離（WD）（mm） |
|
UIS2?物鏡 |
MPLFLN2.5x |
0.08 |
10.7 |
|
MPLFLN5x |
0.15 |
20 |
|
|
專用LEXT物鏡（10X） |
MPLFLN10xLEXT |
0.3 |
10.4 |
|
專用LEXT物鏡（高性能型） |
MPLAPON20xLEXT |
0.6 |
1 |
|
MPLAPON50xLEXT |
0.95 |
0.35 |
|
|
MPLAPON100xLEXT |
0.95 |
0.35 |
|
|
專用LEXT物鏡（長工作距離型） |
LMPLFLN20xLEXT |
0.45 |
6.5 |
|
LMPLFLN50xLEXT |
0.6 |
5.2 |
|
|
LMPLFLN100xLEXT |
0.8 |
3.4 |
|
|
超長工作距離物鏡 |
SLMPLN20x |
0.25 |
25 |
|
SLMPLN50x |
0.35 |
18 |
|
|
SLMPLN100x |
0.6 |
7.6 |
|
|
適用于LCD樣品的長工作距離物鏡 |
LCPLFLN20xLCD |
0.45 |
8.3-7.4 |
|
LCPLFLN50xLCD |
0.7 |
3.0-2.2 |
|
|
LCPLFLN100xLCD |
0.85 |
1.2-0.9 |
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT?OLS5100應用軟件：
|
標準軟件 |
OLS51-BSW |
|
|
數據采集app |
分析應用程序（簡單分析） |
|
|
電動載物臺套件應用*1 |
OLS50-S-MSP |
|
|
GJI分析應用*2 |
OLS50-S-AA |
|
|
薄膜厚度測量應用 |
OLS50-S-FT |
|
|
自動邊緣測量應用 |
OLS50-S-ED |
|
|
顆粒物分析應用 |
OLS50-S-PA |
|
|
智能實驗管理助手應用 |
OLS51-S-ETA |
|
|
球體/圓柱體表面角度分析應用 |
OLS50-S-SA |
|
*1包括自動拼接數據采集和多區域數據采集功能。
*2包括輪廓分析、差值分析、臺階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
